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Solar Cell Equipment

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Laser Scriber

주요특징

  • Solar Cell Thin Film Layer Laser Scribing
  • Glass Size: 8G Size 대응가능
  • Max Scribing Speed: up to 2000mm/sec 
  • Multi Pattern Scribing Head 운용
  • 정밀 Align & inspection system

주요용도

  • Thin Film Solar Cell 기판 위에 전극 형성을 위해 레이저를 이용하여 각 Layer 마다 패턴을 형성하는 장비
  • Thin Film Solar Cell 제조 공정 시 P1, P2, P3, P4, Edge Deletion 공정에 사용

Target 시장

  • Thin Film Solar Sell (a-Si, CiS/CIGS, a-Si:H)

주요기술

  • Laser Beam 분기 / Shaping / Delivery 기술
  • Laser Power 정밀 제어기술
  • 고속/정밀 가공을 위한 광학계 설계 기술
  • 고속/정밀 가공을 위한 Air Floating Stage 제어 기술
  • 장비관련 다수 특허 확보

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